Primus-HS 422

产品概述

超⾼精度三坐标测量机，结构上采⽤固定⻰⻔⼯作台移动⽅式，三轴⽓浮导轨全部使⽤⾼精度优质花岗岩材料，保证精度稳定性⾼，位移光栅尺选择温度变化可伸缩插槽式，且布局遵照⻓度计量仪器的“阿⻉原则”，最⼤限度地减少了“阿⻉误差”对测量精度的影响。
超⾼精度三坐标测量机控制系统要搭配⾼分辨率0.02微⽶或更⾼的光栅尺，具有更⾼响应频率，?控制精度⾼，具有位置环和速度环双反馈环（双位置环），伺服器反应快精度⾼。采⽤直流带测速伺服电机，控制系统推荐采⽤上下层架构。
该系列均具有主动温度修正补偿系统，且温度传感器的布局要充分考虑温度空间梯度和时间梯度对机器的影响。
该系列对环境温度要求较⾼，对于⼩型机器要采⽤整体恒温式罩壳，对于⼤型机器要采⽤整体温度控制较好恒温间。
该系列对探测传感器要求较⾼，推荐选⽤扫描测头系统（光学⾮接触和接触式）。
该系列采⽤直流伺服电机控制，滚珠丝杠和同步带两种传动⽅式，确保运动平稳可靠。
该系列采⽤专⽤低摩擦⽓缸，精密调压控制系统，确保Z轴运动平稳，定位准确，⼯作可靠。
对于⾼精度回转体⼯件测量，推荐配置⾼精密转台，会保证⾼精度和⾼效率。
燕尾式导轨超⾼精度测量机⾸选的导轨形式。
21项误差修正是提升测量机精度的措施之⼀。

产品特点

采用经典十字工作台结构,Z轴独立,保证了设备的高精度;
三轴都采用“燕尾”式导轨结构,精密预载荷气浮导轨,确保了设备精度稳定性;
三轴都采用花岗岩材料,提高了设备的精度稳定性;
采用增加柔性机构的滚珠丝杠驱动,保证足够驱动力同时减小了误差;
≤0.05μm的光栅尺分辨率,为设备提供精密测量的保证;
具有恒温功能的一体化防护罩壳,使得设备在不同外加环境下具备更高的精度;
支持多种测头系统。

技术参数

机型	测量范围( mm)			分辨率(μm)	示值误差E(μm)	工作台最大承重( kg)	机器重量( kg)
	Dx	Dy	Dz
Primus-HS 422	400	200	200	0.02	0.5+L/1000起	20	600

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