产品概览
Product Overview
TD系列多测力测头系统
产品概述
TD系列多测力测头采用行业通用接口设计，精度高、适配性好，可自动更换。
产品特点
- 具有4种测力规格
- 标准测力(TD2)测头模块(黑色帽)
- 中测力(TD3)测头模块(烟灰色帽)
- 可高精度自动更换
- 常规手动更换不需要校正
- 适配多种测针
- ±X、±Y、+Z方向触发
技术参数
| 精度指标 | ||
| 参数 | 测头模块类型 | |
| DM2 | DM3 | |
| 单向重复性（2δ） | 0.35μm | 0.5μm |
| 2D（XY）测量误差 | ±0.8μm | 1.0μm |
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